Bei einer Innentrennsäge wird auf einer dünnen, runden Scheibe aus unlegiertem Stahl ein Loch ausgespart. Der Rand dieses Lochs ist mit Diamantkörnern besetzt. Die Trennscheibe wird vertikal auf einer luftgelagerten Hohlspindel eingepasst und mittels Spannring in der Anlage fixiert. Zum Trennen wird das Werkstück, zum Beispiel ein monokristalliner Silizium-Ingot, auf einem so genannten Zustellschlitten der Anwendung entsprechend weit in die Aussparung der Trennscheibe geführt. Ein herausragendes Merkmal dieser Trenntechnologie ist, dass die Trennscheibe während des Trennprozesses mittels Luftdüsen automatisch justiert werden kann. Dieses Prinzip bietet minimalen Schnittverlust bei sehr hoher Genauigkeit und Oberflächengüte. Die Trennkosten sind damit im Vergleich zu anderen Trennverfahren und Technologien wirtschaftlicher.
