In einer Drahtsäge wird ein Draht von einer Spule abgewickelt und auf mindestens zwei Drahtführungsrollen (DFR) aufgezogen. Die DFR werden in einem klar vordefinierten und konstanten Abstand eingekerbt. Dieser Prozess wird auch als Berillung der DFR bezeichnet. Der Draht durchläuft jede einzelne Rille der DFR, um schliesslich ein komplettes Drahtfeld zu bilden. Die in Rotation versetzten Drahtführungsrollen bewegen das Drahtfeld in eine, oder je nach Anwendungsgebiet alternierende Richtung. Der Draht wird am Ende wieder auf eine Spule aufgewickelt.
Eine Suspension, gewöhnlich eine Mischung aus Siliziumkarbid und Polyethylenglykol (Slurry), wird durch Düsen auf das sich bewegende Drahtfeld aufgegeben und verursacht einen mechanischen Abrieb. Während das zu trennende Werkstück in das Drahtfeld abgesenkt wird, schneiden die mit Suspension behafteten Drähte das Material in Scheiben, so genannte Wafer, deren Dicke durch den Abstand der Berillung der DFR vorgegeben ist.
